Chemistry Reference
In-Depth Information
37. K. Devloo-Casier, K. F. Ludwig, C. Detavernier and J. Dendooven, J. Vac.
Sci. Technol., B, 2014, 32, 010801.
38. J. W. Elam, J. A. Libera, T. H. Huynh, H. Feng and M. J. Pellin, J. Phys.
Chem. C, 2010, 114, 17286.
39. S. P. Sree, J. Dendooven, J. Jammaer, K. Masschaele, D. Deduytsche,
J. D'Haen, C. E. A. Kirschhock, J. A. Martens and C. Detavernier,
Chem. Mater., 2012, 24, 2775.
40. S. P. B. Kremer, C. E. A. Kirschhock, A. Aerts, K. Villani, J. A. Martens,
O. I. Lebedev and G. Van Tendeloo, Adv. Mater., 2003, 15, 1705.
41. S. Bals, K. J. Batenburg, D. Liang, O. Lebedev, G. Van Tendeloo, A. Aerts,
J. A. Martens and C. E. A. Kirschhock, J. Am. Chem. Soc., 2009, 131,
4769.
42. J. Hyv¨rinen, M Sonninen and R. T¨rnqvist, J. Cryst. Growth, 1988,
86, 695.
43. D. Longrie, D. Deduytsche, J. Haemers, K. Driesen and C. Detavernier,
Surf. Coat. Technol., 2012, 213, 183.
44. J. E. Maslar, W. A. Kimes, B. A. Sperling, P. F. Ma, J. Anthis, J. R. Bakke
and R. Kanjolia, In Situ Optical Characterization of Solid Precursor De-
livery for ALD Processes. Presented at the AVS Topical Conference on
ALD, San Diego, USA, July 28-31, 2013.
45. J. A. Libera, J. W. Elam and M. J. Pellin, Thin Solid Films, 2008,
516, 6158.
46. S. Haukka and T. Suntola, Interface Sci., 1997, 5, 119.
47. M. Lashdaf, T. Hatanp¨¨, A. O. I. Krause, J. Lahtinen, M. Lindblad and
M. Tiitta, Appl. Catal., A, 2003, 241, 51.
48. J. S. King, A. Wittstock, J. Biener, S. O. Kucheyev, Y. M. Wang,
T. F. Baumann, S. K. Giri, A. V. Hamza, M. Baeumer and S. F. Bent,
Nano Lett., 2009, 8, 2405.
49. J. Li, X. Liang, D. M. King, Y.-B. Jiang and A. W. Weimer, Appl. Catal., B,
2010, 97, 220.
50. J. A. Enterkin, W. Setthapun, J. W. Elam, S. T. Christensen,
F. A. Rabuffetti, L. D. Marks, P. C. Stair, K. R. Poeppelmeier and
C. L. Marshall, ACS Catal., 2011, 1, 629.
51. S. P. Sree, J. Dendooven, K. Masschaele, H. M. Hamed, S. Deng, S. Bals,
C. Detavernier and J. A. Martens, Nanoscale, 2013, 5, 5001.
52. M. J. Pellin, P. C. Stair, G. Xiong, J. W. Elam, J. Birrell, L. Curtiss,
S. M. George, C. Y. Han, L. Iton, H. Kung, M. Kung and H. H. Wang,
Catal. Lett., 2005, 102, 127.
53. H. Feng, J. Lu, P. C. Stair and J. W. Elam, Catal. Lett., 2011, 141, 512.
54. X. Liang, J. Li, M. Yu, C. N. McMurray, J. M. Falconer and A. W. Weimer,
ACS Catal., 2011, 1, 1162.
55. J. Lu, B. Fu, M. C. Kung, G. Xiao, J. W. Elam, H. H. Kung and P. C. Stair,
Science, 2012, 335, 1205.
56. E. L. Lakomaa, S. Haukka and T. Suntola, Appl. Surf. Sci., 1992, 60-
1, 742.
57. E. L. Lakomaa, Appl. Surf. Sci., 1994, 75, 185.
d n 9 r 4 n g | 7
.
 
Search WWH ::




Custom Search