Civil Engineering Reference
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Abb. 4.83
a
Tauchbeschichtung (
dip-coating
) planarer Substrate und
b
Schleuderbeschichtung
(
spin-coating
)
Sakka (Sakka
2005
) beschreibt, dass sich die festen Gelschichten bei der Trocknung
nur senkrecht zur Substratebene verdichten können. Zudem würde eine ungehinderte
Schrumpfung des Films in der Substratebene zu einem „Rückzug“ der Schicht von den
Kanten des Substrates und damit zu einer Beschädigung führen. Dieser Tendenz wirkt die
Haftung der Schicht an der Oberfläche entgegen. Übersteigen die in der Ebene auftreten-
den Zugspannungen die innere Stabilität des Gelfilmes, kommt es zu Trocknungsrissen.
Zur Herstellung mikrostrukturierter Oberflächen wird der Einsatz zumeist mehrstufi-
ger komplexerer Verfahren erforderlich. Die Strukturerzeugung kann beispielsweise wie
in der Halbleiterfertigung über Masken; Lithographie oder auch Elektronenstrahlbearbei-
tung erfolgen
Bei der holographischen Lithographie werden zwei aufgeweitete Laserstrahlen unter
einem bestimmten Winkel überlagert. Das Interferenzbild dieser Überlagerung ist eine
sinusförmige Intensitätsmodulation, mit der ein Photoresist (lichtsensitives Material) be-
lichtet wird. Bei der Entwicklung wird dieser Photoresist abgetragen, es entsteht ein Ober-
flächengitter, das galvanisch nahezu strukturverlustfrei in Metallen abgeformt werden
kann. Diese Abformung wiederum dient als Muster für die Strukturierung von Polyme-
ren, mit denen preisgünstig großflächig entspiegelte, transparente Oberflächen hergestellt
werden können.
In diesem Zusammenhang soll noch auf ein speziell in Karlsruhe entwickeltes Ver-
fahren zur Herstellung mikrostrukturierter Oberflächen, das sogenannte LIGA-Verfah-
ren eingegangen werden. Das deutsche Akronym
LIGA
(steht für die Verfahrensschritte:
Li
thographie,
G
alvanik und
A
bformung) bezeichnet ein Verfahren, das auf einer Kom-
bination von Tiefenlithographie, Galvanik und Mikroabformung basiert. Das LIGA-Ver-
fahren wurde Anfang der 1980er Jahre am damaligen Kernforschungszentrum Karlsruhe
von einem Team unter Leitung von Becker und Ehrfeld (Becker et al.
1982
) im Rahmen
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