Civil Engineering Reference
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sauberer Umgebung ablaufen. Deshalb sind die Qualitätsanforderungen an die
Luft im Reinraum extrem hoch.
Typische Brandgefahren sind Entzündung von Prozesslösungsmitteln in elek-
trisch beheizten Bädern, Kurzschlüsse/Überlastungen in technischen Geräten
und Installationen bzw. Gefährdung durch Brände von außen.
Brände in Reinräumen können katastrophale Folgen haben. Bereits geringste
Verunreinigungen durch Brandaerosole und korrosive Gase zerstören die
betroffenen Produkte und Halbprodukte. Nimmt der Brand ein größeres Maß
an, so kann dies die Produktion für Wochen stilllegen.
Folgende Zahlen zeigen, dass die Schadenserwartung in Reinräumen den
Rahmen des Üblichen bei Weitem übersteigt:
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Gemäß dem amerikanischen Industriesachversicherungsunternehmen
überschritt 1995 die durchschnittliche Schadensumme in der
Halbleiterindustrie den Betrag von 8.000.000 US-Dollar pro Ereignis.
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Im Jahre 1995 wurde für jedes zehnte versicherte Objekt ein Schadenfall
registriert.
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Zum Vergleich: In der übrigen Industrie wurde auf 100 versicherte Objekte
ein Schadenfall registriert - bei einer durchschnittlichen Schadensumme
von weniger als 250.000 US-Dollar pro Ereignis.
Die Halbleiterindustrie stellt also eine besondere Dimension hinsichtlich des zu
beachtenden Risikos dar.
Schutzziel
In einem Reinraum liegt der inanzielle Schaden, der durch Betriebsunterbre-
chungen entsteht, klar an erster Stelle. So muss alles unternommen werden, um
eine frühestmögliche und zuverlässige Entdeckung von Entstehungsbränden
zu gewährleisten. Durch Umwelteinlüsse verursachte Falschalarme führen
ebenfalls zu Betriebsunterbrechungen und müssen ausgeschlossen werden.
Der Schutz von Personen ist durch die sehr frühe Detektion und Alarmierung
gegeben.
Brandmeldeanlage
Die Produktionsprozesse in der Halbleiterindustrie sind hochspezialisiert und
auf die jeweiligen Produkte abgestimmt. Jeder Fabrikationsbetrieb sieht anders
aus und verfügt über ein eigenes Umfeld. Die Erstellung einer zuverlässig funk-
tionierenden Brandmeldeanlage erfordert viel Erfahrung. Zudem muss das
detaillierte Konzept der Lüftungsanlage bekannt sein.
Durch die Wahl geeigneter Lüftungskonzepte wird die gewünschte Luftreinheit
erreicht. Die Lüftungsanlagen führen dem Raum mit mehr oder weniger star-
ker Luftströmung saubere Luft zu. Grundsätzlich unterscheidet man zwischen
Systemen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung, die eine möglichst lami-
nare, d. h. gleichmäßige Luftströmung erzeugen soll, und Systemen mit turbu-
lenter Mischlüftung.
In Reinräumen, in denen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung gear-
beitet wird, muss pro Stunde mit einem 600-fachen Luftwechsel und mit
Luftgeschwindigkeiten von 0,3 m/s bis 0,5 m/s gerechnet werden. Die Brandfrüh-
