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2.85
Der Zusammenhang
der Energie von
K- und L-Röntgenlinien
mit der Ordnungszahl der
Elemente. Nach Smith
(1976).
tenwerdenreflektiertundgezählt.Indemman
mehrere Kristalle auf verschiedene Braggbe-
dingungeneinstellt,kannmandieGehalteun-
terschiedlicher Elemente gleichzeitig messen.
Es werden dabei ausschließlich künstlich ge-
züchtete Kristalle verwendet (z. B. Lithiumfluo-
rid), die durch ihre d-Werte besonders gut an
dieses Analyseverfahren angepasst sind. Die
Analyse mit dem WDS ist erheblich genauer
und erlaubt viel geringere Nachweisgrenzen als
mit dem
energiedispersiven System (EDS)
,wo
sie im Bereich von 0,1 - 0,5 % liegen, dauert je-
doch deutlich länger (pro Analyse mehrere Mi-
nuten gegenüber etwa 10 Sekunden mit dem
EDS). EDS wird besonders zur schnellen che-
mischen Identifizierung von Materialien an
Mikrosonden und Elektronenmikroskopen
eingesetzt, hin und wieder auch für Analysen,
bei denen es nicht auf sehr große Genauigkeit
ankommt.
Durch Vergleich der entstehenden Spektren
mit solchen von Proben, in denen nicht nur die
Elemente, sondern auch die Mengen dieser Ele-
mente genau bekannt sind („Standards“), kann
man die Elementgehalte quantifizieren. Da der
Elektronenstrahl in einer Mikrosonde auf etwa
1-2
?
m Durchmesser fokussiert werden kann
und nur wenige
?
m in die Probe eindringt, er-
hält man die quantitative Zusammensetzung
von nur
?
m
3
-großen Probenstückchen. Dies
