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lung bekannter Frequenz (also bekannter Ener-
gie, da ja die Energie gleich dem Produkt der
PlanckkonstantemitderFrequenzeinerStrah-
lung ist, E = h · h ) die Netzebenenabstände d
eines Kristalls bestimmen, sondern man kann,
indem man Strahlung unbekannter Energie auf
einen Kristall bekannter Netzebenenabstände
fallen lässt, die Energie bestimmen. Dieses
Prinzip wird im wellenlängendispersiven Sys-
tem (WDS) der Elektronenmikrosonde, die im
nächsten Abschnitt besprochen wird, angewen-
det.
entstehenden Röntgenspektren erhalten ihre
Bezeichnung nach der Schale, die aufgefüllt
wird und nach der Schale, aus der das auffül-
lende Elektron kommt. Zum Beispiel entsteht
beim Übergang eines Elektrons von der L-
Schale auf die K-Schale eine K § -Linie, beim
Übergang von der M-Schale auf die K-Schale
eine K g -Linie und beim Übergang von der M-
Schale auf die L-Schale eine L § -Linie (Abb.
2.84).
DieemittierteRöntgenstrahlungistnichtnur
für die Energiedifferenz zwischen inneren und
äußeren Schalen, sondern auch für jedes Ele-
mentcharakteristisch(Abb.2.85).Daherkann
man mit ihrer Hilfe feststellen, welche Ele-
mente in der mit Elektronen beschossenen
Probe vorhanden sind. Dies gelingt entweder,
indem die ankommenden Röntgenquanten von
einem Siliziumdetektor nach Energien ge-
trennt, gezählt und dann in einem Spektrum
wieinAbb.2.86aufgetragenwerden,odermit
Hilfe der Bragg-Beugung an Kristallen bekann-
ter Netzebenenabstände ( wellenlängendisper-
sives System, WDS ). Hierbei werden Röntgen-
quanten, deren Energie man messen möchte,
auf einen extra dafür positionierten Kristall ge-
leitet, der in seiner Orientierung zum Röntgen-
strahl genau die Braggbedingung für eine be-
stimmte Energie von Röntgenquanten erfüllt
(siehe Abschnitt 2.5.3). Nur genau diese Quan-
2.5.4 Elektronenstrahlmikrosonde
Das Prinzip der Elektronenstrahlmikrosonde
(Abb. 2.83) ist in gewissem Sinne dem der
spektroskopischen Methoden ähnlich. Hier
wird ein Material allerdings statt mit elektro-
magnetischer Strahlung mit Elektronen be-
schossen. Das führt dazu, dass andere Elektro-
nenausdeninnerenSchalen(z.B.K-Schale)
der beschossenen Atome herausgeschlagen
werden. Diese werden sofort von Elektronen
aus den äußeren Schalen (z. B. L- und M-
Schale) ersetzt, die bei diesem (energetisch ge-
sehenen) „Hinabstürzen“ viel Energie verlieren
und diese in Form von elektromagnetischer
Strahlung, in diesem Fall Röntgenstrahlung,
abgeben (Abb. 2.84). Die Linien in den daraus
M
L
K
herausgeschleudertes
Elektron
Elektronenüb ergang
2.84 Schematische Inter-
aktion des Elektronen-
strahls mit einem Atom
und die Nomenklatur der
dabei emittierten Rönt-
genlinien.
emittierte
charakteristische
Röntgenstrahlung
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