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Abb. 6.10 Einfluss des Sauerstoffgehaltes auf die Wärmeleitfähigkeit von Alumi-
niumnitrid-Keramik. Der Parameter für die Kurvenschar ist der Sauerstoffgehalt
in Masse-% (Veröffentlichung mit freundlicher Genehmigung des Thieme Verlags,
Stuttgart [ 1 , Stichwort Aluminiumnitrid-Keramik, Abbildung 2])
Bildung von SiO 2 auf der Oberfläche von Si 3 N 4 -Körnern gezielt für das
Dichtsintern zu nutzen. Durch Zugabe geeigneter Dotanden bildet sich
oberhalb 1500 °C eine partielle Schmelze, die die Schmelzphasensinte-
rung (Abschn. 3.4 ) bewirkt. Zu diesen Dotanden gehören Y 2 O 3 und auch
CaO sowie MgO. In der abgekühlten Keramik liegen dann AlN-Kristalle
vor, die in eine dünne oxidische Matrix eingebunden sind. Das Sintern
erfolgt stets unter Stickstoffatmosphäre.
 
 
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