Oxid-Keramik - Keramik: Wie ein alter Werkstoff hochmodern wird - page 133

Abb. 5.23 Querschnitt durch ein typisches LTCC-Multilayer-Bauelement (Veröf-
fentlicht mit freundlicher Genehmigung des Vulkan-Verlags, Essen [ 6 , S. 608,
Bild 62])
koeffizienten als die Substrate auf. Daraus resultiert die Gefahr, dass
beim Brennen Risse entstehen. Weiterhin erfordert die Stapelung Hohl-
räume für die Durchkontaktierung. Die sogenannten Vias müssen in ei-
nem gesonderten technischen Schritt gestanzt werden. Ihre Füllung, um
den Kontakt zwischen den verschiedenen Ebenen der Bauelemente zu
gewährleisten, erfolgt meist mit Silber. Dessen Ausdehnungskoeffizient
und das Schwinden der Keramik müssen in Übereinstimmung gebracht
werden. Andernfalls reißt der Kontakt ab, oder das Silberstäbchen hebt
die benachbarten Schichten an. Die Aufzählung könnte fortgesetzt wer-
den. Mittlerweile sind LTCC-Bauelemente Stand der Technik. Ein Bei-
spiel wird in Abb. 5.23 gezeigt.
Ebenso beispielhaft wird der technische Ablauf für die Herstellung
eines integrierten keramischen Bauelements auf Abb. 5.24 gezeigt.